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IC集成电路生产设备应用趋势

        集成电路生产线(IC production Line)是实现IC制造的整体环境,由净化厂房、工艺流水线和保证系统(供电、纯水、气体纯化和试剂组成。IC发展到了VLSI后,加工特征尺寸达到亚微米级,集成度上升到106以上,从而对各道工艺环节和制造环境的颗粒和微污染控制都很严格,IC生产线把相关的工艺设备视为一个整体,在群体内实现高度的自动控制,井保证相应的净化条件。硅片在群体间由机器人或机械手传递,整个生产过程实现了无纸化、在线质量检测、统计分析以及信息的实时管理。
  集成电路应用越趋于广泛,IC测试设备需求量越来越大,对测试成本要求越来越高,因此对IC测试设备的测试速度要求越来越高,由于集成电路参数项目越来越多,如电压、电流、时间、温度、电阻、电容、频率、脉宽、占空比等,对IC测试设备功能模块的需求越来越多。IC测试设备状态、测试参数监控、生产质量数据分析等方面,结合大数据的应用,对IC测试设备的数据存储、采集、分析方面提出了较高的要求。客户对集成电路测试精度要求越来越高,如对IC测试设备的精度要求从1%提升至0.25%、时间测量精度提高到微秒级,对IC测试设备测试精度要求越趋严格。
(来源:百度)
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